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半導體材料冷熱循環測試高低溫一體機組-江蘇康士捷機械設備有限公司設計生產。
康士捷生產的工業控溫設備有高溫型(5℃~35℃)、中溫型(-5℃~-40℃)、低溫型(-40℃~-80℃)、超低溫型(-150℃~-80℃)、冷熱兩用型(-150℃~+300℃)等系列產品供貴司選用。制冷量大小都有,有防爆型,防腐型,撬裝式,變頻型等。接受非標定做。溫度穩定性±0.1℃等可選。
以下列出部分參數,貴司參數溝通選型后確認。
半導體材料測試需求
溫區覆蓋
低溫端:-70℃~-196℃)
高溫端:+200℃~+300℃(部分第三代半導體材料需達450℃)
快速變溫速率
典型要求:10℃/min~30℃/min(軍工級測試需>50℃/min)
溫度均勻性
測試腔體內溫差≤±1℃(如硅晶圓測試需±0.5℃)
多模式循環
支持自定義溫度曲線
半導體材料冷熱循環測試高低溫一體機組選型與江蘇康士捷機械設備有限公司溝通,多案例供參考。
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